蔡司Sigma系列

拥有高品质成像和先进分析功能的场发射扫描电子显微镜

一、优势：

1.更简单、更智能、更高度集成

采用灵活的探测手段获取清晰图像Sigma新的探测器技术可以满足不同需求。全方位表征样品的表面形貌、成分及晶体结构等。环形背散射探测器（aBSD）进一步扩展了成像性能，在单个探测器中同时获取形貌和成分信息。其优点包括：提高灵敏度，增加信噪比，以及提高背散射电子（BSE）图像采集的速度。利用新一代的二次电子（SE）探测器，可获取更高对比度和更高分辨率的图像。在低真空环境中，Sigma的C2D和VPSE探测器可获取更高对比度的清晰图像。

在单个探测器中获取形貌和成分衬度信息。使用aBSD在5kV和高真空条件下对太阳能电池成像，左：成分衬度模式，右：形貌模式。

2.智能高效的工作流程

Sigma的4步工作流程可以让您控制Sigma的所有功能。它能够快速获取图像、节省培训时间，尤其是在多用户环境下，其优势更突出。首先，通过直观的图像导航操作将样品定位至电子束下。然后，简单点击鼠标设置样品的理想成像条件。接下来，使用自动化智能成像标记任意您感兴趣区域(ROI)，即可在多个样品上自动采集多组数据。最后，使用SmartSEMTouch查看图像及相关分析数据，以便全面地了解样品信息。 

高效直观的Sigma4步工作流程。

1.图像导航

2.选择样品类型

3.自动化智能成像

4. SmartSEM Touch

3.先进的分析系统

Sigma先进的EDS几何学设计可大大提升分析性能，此设计在分析对束流敏感样品时优势尤其明显。您可以使用与以往相比一半的束流来获取分析数据，同时测试速度提升1倍。Sigma系列产品能够提供快速、完整的X射线分析及元素面分布获取。将探测器更靠近样品，可获得完全没有阴影的分析结果，这得益于8.5mm的短分析工作距离和35°出射角。Sigma分析系统，是您值得信赖的选择。

先进的EDS几何学设计加速了X射线的分析。

4.久经考验的Gemini技术

Sigma系列产品是基于Gemini设计研发的，此项技术已运用超20年之久，不断打磨改进，具有完整高效的探测系统、出色的图像分辨率和易用性等特点。Gemini物镜的设计结合了静电场与电磁场，在大幅提升光学性能的同时将它们对样品的影响大大降低。因此，即便是要求苛刻的样品——如磁性材料，也能进行高品质成像。Gemini的设计原理通过对二次电子（SE）和/或背散射电子（BSE）的探测来确保高效的信号检测。Inlens探测器安装在电子束光路的正光轴上，减少了重新校准的操作，大大的缩短了成像时间。

Gemini电子束推进器技术可以保证在超低加速电压下获得小束斑和高信噪比的图像。此外，它确保了电子束在镜筒中运动时始终保持高加速电压，更至出镜筒后才减速至设定电压，更大程度地减小外部杂散磁场对系统灵敏度的影响。Sigma300和Sigma500两者均应用了Gemini设计、Inlens探测器和电子束推进器技术。