ZEISS XENOS测量范围 [mm]
ZEISS XENOS特点：
1、创新的机械设计
ZEISS XENOS新型的机械设计基于经验证的ZEISS CenterMax,令人印象深刻。与标准桥式测量机不同:Y导轨分布于侧壁顶部，分离式移动行程轴仅横梁于Y轴方向移动，更小及恒定的移动重量-与移动式平台相比堪称真正的优势。更低及恒定的移动重量造就了更出色的加速及高速度。
2、所有轴均采用直线电机驱动
XENOS的所有轴均采用直线电机驱 动。其优点:高速、加速更快、定位精度高、驱动无剪切力影响，结合高分辨率光栅尺技术，XENOS的直线电机驱动可获得更高稳定性及低于100纳米的定位精度。例如，探针偏移量越恒定，即可获得更佳的测量精度。于测量曲面时更显见另一优势:探针的移动路径与名义值越吻合，即可实现越高的精准性。
3、虚拟中央驱动
XENOS于Y轴向配备双直线电机驱动系统，得益于蔡司新的中央驱动技术可实现优异的同步控制。该技术采用结合最新一代的控制技术及数学算法的双边直线驱动，真正集成了动态质量分布技术。这是在整个测量范围内获得优异的测量精度及运动稳定性的关键因素。
4、碳化硅陶瓷
XENOS在与精度密切相关的机器部件上采用创新的碳化硅陶瓷材料。迄今为止，该材料从未在类似产品或精度的测量机上使用。与常规陶瓷相比，碳化硅陶瓷的热膨胀性降低约50%，而刚性则可提升30%，且重量减轻20%。
5、强化型 VAST gold
XENOS配备ZEISS VAST gold测头系统。在研发过程中，蔡司在测量精度和测量重复性方面对该测头进行了优化。XENOS也采用了新型刚性连接。VASTgold测头可与最大长度为800毫米的探针以及最大重量为500克的探针配套使用，包括非对称型测针。
6、改进的电子设计
通过全新的电子设计，移动线缆对精度影响显著降低。计算机辅助精度修正(CAA)及特殊附加CAA修正技术在获得更高测量精度的过程中扮演着日趋重要的作用。
7、优化的气浮轴承
全新强化处理气浮轴承确保优异的稳定性及测量精度。
